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  • 20240214 ARM ํญ๋“ฑ์˜ ์‹œ์‚ฌ์  : ํฌํ™”ํ•œ ๋ชจ๋ฐ”์ผ ์‹œ์žฅ๊ณผ ์ค‘๊ตญํ–ฅ ๋งค์ถœ ๋†’์€ ๊ฒƒ์ด ๋ฆฌ์Šคํฌ๋กœ ํ•˜๋ฝํ•˜๋˜ ARM์ด AI ์ˆ˜ํ˜œ์ฃผ๋กœ ๋“ฑ๊ทนํ•˜๋ฉฐ ํญ๋“ฑ. ์˜จ๋””๋ฐ”์ด์ŠคAI๋กœ ๋ชจ๋ฐ”์ผ ํฌํ™” ์˜๊ตฌ์‹ฌ ํ•ด์†Œ. CPU ์•„ํ‚คํ…์ณ V9 ๊ฐœ๋ฐœ์™„๋ฃŒ ํ–ˆ๋Š”๋ฐ ๋กœ์–„ํ‹ฐ ๊ธฐ์—ฌ๋„๊ฐ€ V8 ๋Œ€๋น„ 2๋ฐฐ ์ˆ˜์ค€์ด๋ฉฐ ํ”„๋ฆฌ๋ฏธ์—„ํฐ์—๋Š” ๋‹ค ๋“ค์–ด๊ฐ„๋‹ค๊ณ  ๋ณด๋ฉด ๋จ.
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ํ‚ค์›Œ๋“œ


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  • HPSP : ๊ณ ์•• ๊ธฐ์ˆ  ๋„์ž… ์†๋„๊ฐ€ ๋นจ๋ผ์ง€๊ณ  ์žˆ๋‹ค.(๊ณ ์—ด๊ณต์ •โ†’๊ณ ์••๊ณต์ •์œผ๋กœ ๋Œ€์ฒด)
  • ํŒŒํฌ์‹œ์Šคํ…œ์Šค : ๋ฐ˜๋„์ฒด ์ „๋ฐ˜์ ์ธ MI์Šคํ…์ˆ˜๊ฐ€ ์ฆ๊ฐ€(์ „๊ณต์ •์€ ๋ฏธ์„ธํ™”, ํ›„๊ณต์ •์€ ์–ด๋“œ๋ฐด์ŠคํŒจํ‚ค์ง•)
  • ๋„ฅ์Šคํ‹ด : ๊ตญ๋‚ด ๊ณ ๊ฐ์‚ฌ์˜ Capex ๋ฐ”ํ…€ ์•„์›ƒํšจ๊ณผ, ์‹ ๊ทœ์žฅ๋น„ ๋Ÿฐ์นญ(ResQ, ํฌ๋กœํ‚ค) ํšจ๊ณผ, ์ค‘๊ตญ JV์„ค๋ฆฝ์„ ํ†ตํ•œ ๊ณ ๊ฐ์‚ฌ ํ™•๋Œ€
  • ์œ ์ง„ํ…Œํฌ : ๊ณต์ • ๋ฏธ์„ธํ™”์† ์Šคํ… ๊ธฐ์—ฌ๋ถ„ ์ง€์† ํ™•๋Œ€(ํ•˜์ด๋‹‰์Šค+์‚ผ์„ฑ์ „์ž)๋กœ ์ด์ต๋ ˆ๋ฒ„๋ฆฌ์ง€ ํšจ๊ณผ ๊ธฐ๋Œ€
  • ๋””์•„์ดํ‹ฐ : ํ•˜์ด๋‹‰์Šค D๋žจ 1b ๋ ˆ์ด์ € ์–ด๋‹๋ง ์žฅ๋น„ ๊ณต๊ธ‰(ํ•˜์ด๋‹‰์Šค D๋žจ 1b ์ „ํ™˜ํˆฌ์ž ๊ทœ๋ชจ๊ฐ€ ๊ธฐ์กด๋ณด๋‹ค ์ƒํ–ฅ ์˜ˆ์ƒ)
  • ์˜ค๋กœ์Šคํ…Œํฌ๋†€๋Ÿฌ์ง€ : ๋ฐ˜๋„์ฒด ๊ณต์ •์šฉ ์˜ค๋ฒ„๋ ˆ์ด ์žฅ๋น„ ๊ณต๊ธ‰ ๊ธฐ์—…
  • ํ”„๋กœํ… : ๋ ˆ์ด์ €๋ณธ๋”ฉ(์•”์ฝ” ๋‚ฉํ’ˆ์ด๋ ฅ ๋ณด์œ ) ๋งค์ถœ์ฒ˜ ๋‹ค๋ณ€ํ™” ๊ฐ€๋Šฅ์„ฑ, ๋ ˆ์ด์ € ๋ฆฌํ”Œ๋กœ์šฐ ์žฅ๋น„ ๋งค์ถœ ์„ฑ์žฅ ๊ธฐ๋Œ€
  • ํ…Œํฌ์œ™
  • ํ…Œ์Šค : ์ „๊ณต์ • PECVD ์žฅ๋น„, ๊ฐ€์Šค DRY ETCHER ์žฅ๋น„ ์ฃผ๋ ฅ + ๋‚ธ๋“œ์ด BSD(์›จ์ดํผ Backside ์ฆ์ฐฉ ์žฅ๋น„), ๋””๋žจ์˜ Low-K PECVD ์žฅ๋น„ ๊ตญ์‚ฐํ™” ์„ฑ๊ณต
  • GST : ์Šคํฌ๋Ÿฌ๋ฒ„(๊ฐ€์Šค์ •ํ™”์žฅ์น˜) 50%, ์น ๋Ÿฌ(์˜จ๋„์กฐ์ ˆ์žฅ์น˜) 20%, ๊ณ ๊ฐ์‚ฌ ์‚ผ์„ฑ
  • ํ”ผ์—์Šค์ผ€์ดํ™€๋”ฉ์Šค
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HBM ์žฅ๋น„ ๊ธฐ์—…
  • ์ด์˜คํ…Œํฌ๋‹‰์Šค : DISCO๊ฐ€ ๋…์ ํ•˜๊ณ  ์žˆ๋Š” ๋ ˆ์ด์ € ์Šคํ…”์Šค ๋‹ค์ด์‹ฑ ์ด์›ํ™”, ๋ ˆ์ด์ € ์–ด๋‹๋ง ์žฅ๋น„ D๋žจ 1b ์ „ํ™˜ํˆฌ์ž, ๋น„๋ฉ”๋ชจ๋ฆฌ๋ฐ˜๋„์ฒดํ–ฅ ๋ ˆ์ด์ € ๊ทธ๋ฃจ๋น™, ์นฉ๋ ›์˜ ์„ฑ์žฅ๊ณผ ํ•จ๊ป˜ํ•˜๋Š” ๋ ˆ์ด์ € ๋งˆ์ปค ๋“ฑ ๋ณด์œ  โ†’ 25๋…„ ๋ ˆ์ด์ € ํ’€์ปท ์žฅ๋น„๋กœ ํ™•๋Œ€
  • ํ•œ๋ฏธ๋ฐ˜๋„์ฒด : ํ•˜์ด๋‹‰์Šค HBMํ–ฅ TC๋ณธ๋” ๋ฉ”์ธ ๊ณต๊ธ‰์—…์ฒด(์„ ๋‘ ์—…์ฒดํ–ฅ ๋ ˆํผ๋Ÿฐ์Šค ๋ณด์œ ๋ฅผ ํ†ตํ•œ ๊ณ ๊ฐ์‚ฌ ํ™•๋Œ€)
  • ์—์Šคํ‹ฐ์•„์ด : CCSS์žฅ๋น„ ๋ณธ์—… + ํ•˜์ด๋‹‰์Šค HBMํ–ฅ ๋งค์Šค๋ฆฌํ”Œ๋กœ์šฐ ์žฅ๋น„, ์‚ผ์„ฑ์ „์ž HBMํ–ฅ Cleaning ์žฅ๋น„ ๊ณต๊ธ‰
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๊ธฐํŒ

์„ธ์ •
ํฌํ† (ํŽ ๋ฆฌํด, ๋งˆ์Šคํฌ, ๊ฐ๊ด‘์•ก)
์‹๊ฐ(์ฟผ์ธ , ๋ง, ์‹๊ฐ์•ก)
์ฆ์ฐฉ(์ „๊ตฌ์ฒด, ์ฆ์ฐฉ์•ก)
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ํŒจํ‚ค์ง•(์™€์ด์–ด, ์†”๋”๋ณผ, ๋ฆฌ๋“œํ”„๋ ˆ์ž„)